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机译:用倾斜光刻法制作高通道微气动微型阀
Maho Kaminaga; Tadashi Ishida; Toru Omata;
机译:倾斜光刻技术用于高层微通道气动微阀的制造
机译:多层气动微阀在芯片上制备藻酸盐磁性水凝胶微纤维
机译:在微通道内原位制造智能水凝胶微阀进行恒温控制的简单策略
机译:倾斜纳米压印光刻制造三维纳米图案
机译:自组装无光刻技术的聚合物微通道和微流控技术。
机译:通过伪灰度背面扩散光光刻技术进行简单的多级微通道制造
机译:微型阀组件,例如用于气动系统,具有带模制互连设备结构的外壳,用于电气连接电子驱动组件和微型阀
机译:通过电子指令打开的流体微型阀,通过加热热敏材料来关闭和打开,以允许入口和出口微通道的末端连通
机译:光刻图案数据生成方法,光刻图案制作方法和带电粒子光刻系统
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